四極質(zhì)譜計校準(zhǔn)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

任國華， 張滌新， 趙瀾

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：作為殘余氣體分析器和分壓力測量的主要儀器，四極質(zhì)譜計的使用越來越引起重視，使得其校準(zhǔn)技術(shù)研究成為真空計量領(lǐng)域的一個熱點問題。

　　本文將從最初美國真空學(xué)會推薦的四種四極質(zhì)譜計校準(zhǔn)方法開始，討論研究美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)、德國聯(lián)邦物理研究院(PTB)、意大利國家計量研究院(IGMC)、日本國家工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院(AIST)直到我國的清華大學(xué)和蘭州空間技術(shù)物理研究所在四極質(zhì)譜計校準(zhǔn)技術(shù)方面的研究成果，分析這幾個實驗室方法的優(yōu)缺點，為國內(nèi)外同行提供參考。