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DL-10型真空計的工作原理與測量范圍
DL-10型真空計是應用石英晶振的諧振阻抗與 氣體壓強有關的特性做的真空計。選用的晶振是Φ2×6型,頻率標稱值為32.768KHz, 測量范圍也是1Pa到大氣壓。
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超高真空比對校準系統的指標測試與模擬校準
經過對超高真空比對校準系統的指標測試與模擬校準,該裝置具有結構簡單、實用、不確定度小等優點,可以滿足在10- 7~10- 5 Pa 范圍內超高真空規的比對校準。
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電容薄膜規(CDG)熱流逸效應修正方法
電容薄膜規(CDG)的測量下限主要取決于分辨率和零點穩定性,而溫度的變化會對零點穩定性產生較大的影響。為了改善CDG的零點穩定性能,就必須減少外界溫度變化對測量的影響。
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真空規原位校準裝置的不確定度分量的分析評估
對真空規原位校準裝置的不確定度來源進行分析評估,確定該裝置的合成不確定度小于5%,擴展不確定度小于10%(k=2),符合國家二等真空標準不確定度小于10%的要求。
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真空規原位置校準原理和裝置
真空規原位置校準裝置校準真空計時,通過微調閥注入所需校準氣體,當校準容器中所需真空度穩定后,用主標準器和被校真空計同時測量校準容器或真空系統中的同一壓力值,將測得壓力值進行比較。
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比對法真空計校準系統標定實驗過程
在標定裝置上開展標定實驗,首先將校準真空室抽至極限真空5×10-6 Pa(盡量減小本底誤差),然后依次在1E-4~1E-1Pa的每一個量級內測量若干個樣本數據, 即在每一量級內,通過膨脹過程使真空度緩慢變化,以等間距地讀取穩定
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真空校準系統校準真空計的主要步驟
真空校準系統是依據校準真空規的原理,將一支或幾支參考規和若干支被校規,一同接到一個壓力可調的校準容器上,進行比對校準的方法。采用的方法有動態比對法、靜態比對法、靜態膨脹法。
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