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GaAs基片高溫加熱清洗過程中殘氣脫附的研究
為了優(yōu)化GaAs基片的加熱清洗工藝, 獲得原子級清潔表面, 用四極質譜儀研究了GaAs基片高溫加熱清洗過程中常見氣體及Ga、As元素的脫附規(guī)律。
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蘭州空間技術物理研究所(LIP) 的質譜計校準系統(tǒng)
蘭州空間技術物理研究所(LIP) 在上個世紀九十年代已研制了一套質譜計校準系統(tǒng),主要由供氣系統(tǒng)、進樣系統(tǒng)、校準室、抽氣系統(tǒng)和數據采集系統(tǒng)等幾部分組成。
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美國國家標準技術研究院(NIST)的質譜計校準技術
美國的質譜計校準技術是隨著航天技術而發(fā)展的。美國國家標準技術研究院提出質譜計的直接比對法、壓力衰減法、小孔流導法、原位置校準法四種校準方法。
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蜂窩板出氣成分質譜分析試驗研究
本試驗研究通過對蜂窩材料進行加熱烘烤方式,增加材料的出氣量、提高材料的出氣速率,同時結合四極質譜計分壓力測試分析方法來實現對蜂窩板材料大氣環(huán)境下的出氣性能和出氣成分測試分析。
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